電容式角位移傳感器用于測量固定部件(定子)與轉(zhuǎn)動部件(轉(zhuǎn)子)之間的旋轉(zhuǎn)角度，因其具有結(jié)構(gòu)簡單，測量精度高，靈敏度高，適合動態(tài)測量等特點，而被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動控制、汽車、航天及軍事等角度定位監(jiān)測領(lǐng)域，一般來說，電容式角位移傳感器由一組或若干組扇形固定極板和轉(zhuǎn)動極板組成，為傳感器的精度和靈敏度，同時避免因溫度等因素的改變導(dǎo)致介電、極板形狀等的間接變化，進而對傳感器性能產(chǎn)生不利影響，對傳感器的制作材料、加工工藝以及安裝精度提出了較高要求，為了克服電容角位移傳感器的局限性，國內(nèi)外科學(xué)工作者...

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